近日，同方瑞風成功簽下(xià)格芯（成都）集成電(diàn)路制造有限公司（以下(xià)簡稱“成都格芯”）一(yī)期項目幹盤管（DCC）采購訂單，合同金額超過千萬元。

    成都格芯是格羅方德（GLOBALFOUNDRIES）在全球投資(zī)規模最大(dà)、技術水平最先進的12英寸晶圓片生(shēng)産基地，建成後将成爲格羅方德目前在德國、美國及新加坡之外(wài)的第四個生(shēng)産中(zhōng)心，也是中(zhōng)國西南(nán)地區的首個12英寸晶圓生(shēng)産基地，項目累計投資(zī)超過100億美元。成都格芯一(yī)期設計産能月産兩萬片，預計2018年底投産；二期采用格羅方德最新的22納米FDSOI工(gōng)藝技術，設計月産能六萬五千片，預計2019年第四季度投産。一(yī)期建設主流CMOS工(gōng)藝12英寸晶圓生(shēng)産線，預計2018年底投産；主要爲0.13微米、0.18微米，從新加坡轉移至成都，産能2萬片/月。

    格羅方德（GLOBALFOUNDRIES），總部位于美國加州，是全球第二大(dà)晶圓代工(gōng)廠。公司運營着14~28納米節點的先進工(gōng)藝，32至180納米節點的成熟主流工(gōng)藝，以及射頻(pín)特種工(gōng)藝，并正在研發5納米/7納米工(gōng)藝。格羅方德公司凝聚了來自AMD，特許半導體(tǐ)和IBM的半導體(tǐ)工(gōng)藝研發、制造和産品開(kāi)發的頂尖技術專家和工(gōng)程師團隊，繼承了三家公司在過去(qù)30年中(zhōng)積累的工(gōng)藝技術。豐富的專利儲備在全球純晶圓代工(gōng)企業中(zhōng)排名第一(yī)。

        晶圓生(shēng)産必須在潔淨環境下(xià)進行，成都格芯項目将打造6.5萬平方米的晶圓生(shēng)産潔淨室，其潔淨等級爲100級，比一(yī)般醫院的手術室還要潔淨百倍。手術室的面積隻有幾十平方米，晶圓廠房則要保證6.5萬平方米的空間都保持100的潔淨度，局部房間甚至要達到1級标準。1級标準是什麽概念?即每立方英尺的空氣中(zhōng)0.5微米或稍大(dà)些的微塵數量不超過1個。可以參照對比的是，人的頭發絲直徑爲80微米，即在每立方英尺的空氣中(zhōng)相當于1/ 160根頭發絲粗細的微塵數量不超過1個。

        目前半導體(tǐ)行業的潔淨室空調系統通常常用“MAU+FFU+DCC”系統，MAU主要控制室内的濕度和保證室内的正壓，FFU通過空氣循環過濾保證環境潔淨度，而DCC主要是來除去(qù)室内顯熱從而保證室内溫度。幹盤管作爲半導體(tǐ)生(shēng)産環境的重要保障設備，對産品性能和品質具有嚴苛的要求。同方瑞風憑借多年來在幹盤管設計、制造方面的經驗，深得半導體(tǐ)及電(diàn)子行業用戶信賴，本項目也将成爲同方瑞風幹盤管産品在半導體(tǐ)行業的經典應用案例。